您的位置： 专家智库 > >

裴立坤

作品数：66 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 13个自动化与计算...
  • 7个文化科学
  • 6个电子电信
  • 5个金属学及工艺
  • 4个一般工业技术
  • 3个机械工程
  • 3个理学
  • 2个电气工程
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个动力工程及工...

主题

  • 13个硅片
  • 12个半导体
  • 11个自动化
  • 11个机械手
  • 8个药液
  • 8个清洗工艺
  • 8个污染
  • 8个密封
  • 8个补液
  • 7个电路
  • 7个竖直
  • 7个自动化控制
  • 7个自动化控制技...
  • 7个门板
  • 6个导轨
  • 6个电机
  • 6个支撑脚
  • 6个密封结构
  • 5个端面
  • 5个占地面积

机构

  • 19个北京七星华创...

资助

  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 2个电子工业专用...
  • 1个半导体技术

地区

  • 19个北京市
共 19 条 记 录，以下是 1-10
何金群
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
昝威
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：管路 处理系统 分析仪 化学制剂 切换
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王营营
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
初国超
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 超微 超纯水 雾化液 雾化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘福生
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 补液 半导体晶片 半导体工艺设备 供液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0