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徐爱东
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32
被引量:43
H指数:4
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
航空宇航科学技术
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合作作者
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
吕树海
中国电子科技集团第十三研究所
张旭辉
中国电子科技集团第十三研究所
徐淑静
中国电子科技集团第十三研究所
徐永青
中国电子科技集团第十三研究所
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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吕树海
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
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张旭辉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:角速率 加速度 速率传感器 传感器 单片集成
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徐永青
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 微机械 可变光衰减器 微电子机械 MEMS
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徐淑静
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
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何洪涛
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
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吝海锋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 可靠性研究 电容式加速度计 硅
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罗蓉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 MEMS 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
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卞玉民
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
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卢新艳
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS陀螺仪 测试系统 惯性器件 陀螺仪 微电子机械系统
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