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陈晨
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11
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H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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电子电信
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合作作者
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
王云彪
中国电子科技集团公司第四十六研...
何远东
中国电子科技集团公司第四十六研...
韩焕鹏
中国电子科技集团公司第四十六研...
张伟才
中国电子科技集团公司第四十六研...
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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王云彪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
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何远东
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 翘曲度 表面粗糙度 单晶 清洗液
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供职机构
所获资助
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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杨静
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学腐蚀 MEMS 研磨 测厚 硅
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所获资助
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韩焕鹏
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:硅单晶 锗 单晶炉 晶片 单晶片
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耿莉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 超薄 表面粗糙度 单晶
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范红娜
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:清洗技术 抛光片 粗糙度 锗 研磨
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兰天平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:VGF 砷化镓 位错密度 VB GAAS
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吴华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:SIC 石墨烯 电阻率 半绝缘 高温
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