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陈建芳
作品数:
10
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
程兆谷
中国科学院上海光学精密机械研究...
王明常
中国科学院上海光学精密机械研究...
程亚
中国科学院上海光学精密机械研究...
王毅强
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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程兆谷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
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王明常
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:自由电子激光器 激光器 自由电子 虚火花放电 电子束
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许永锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:法线 硅片表面 硅片 光电信号 光电探测器
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池峰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:易加工 干涉仪 分光镜 分光 双频激光
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敖计祥
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:法线 硅片表面 硅片 光电信号 光电探测器
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王毅强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:法线 硅片表面 硅片 光电信号 光电探测器
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程亚
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:飞秒激光 飞秒激光脉冲 铌酸锂 等离子体 二氧化硅薄膜
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黄羽
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:高亮度 虚火花放电 电子束
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王之江
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 光纤激光器 自由电子激光器 高功率 自由电子
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