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郭沫然

作品数：7 被引量：1H指数：1
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合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 3个机械工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个文化科学
  • 3个理学
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生
  • 1个一般工业技术

主题

  • 5个光刻
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  • 3个掩膜板
  • 3个掩膜版
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  • 3个氧化物
  • 3个容忍度
  • 3个套刻

机构

  • 5个中国科学院微...
  • 1个北京理工大学

资助

  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个国家中长期科...
  • 2个北京市自然科...
  • 1个上海市自然科...

传媒

  • 4个微纳电子技术
  • 3个微电子学
  • 2个半导体技术
  • 2个激光与光电子...
  • 2个光学学报
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  • 1个电子与信息学...
  • 1个电子技术应用
  • 1个中国科学基金
  • 1个信息与电子工...
  • 1个中国光学

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
韦亚一
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董立松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘实
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：介质层 光刻 侧墙 沟道 比电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘艳松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：OPC 光刻 掩模版 SMO 光照
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
粟雅娟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 版图 石墨烯 掺杂 通孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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