2025年1月30日
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聂鹏飞
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4
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
粟雅娟
中国科学院微电子研究所
杨杰
中国科学院微电子研究所
朱慧珑
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
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粟雅娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
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杨杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:封装基板 薄层 半导体封装 焊盘 键合
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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