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黄卫国

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

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领域

  • 3个自动化与计算...
  • 2个电子电信
  • 1个电气工程

主题

  • 3个电机
  • 3个直线电机
  • 3个半导体
  • 3个半导体设备
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  • 1个大直径
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  • 1个自动化应用
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石艺楠
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：半导体设备 直线电机
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谭立杰
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 直线电机 激光加工 激光 伺服控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立华
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：半导体设备 Z轴 飞针测试 瓷片 LTCC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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