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马颖蕾

作品数：25 被引量：6H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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地区

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共 19 条 记 录，以下是 1-10
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐德辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚邵康
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片 塑性形变 透镜 键合 制作方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯端
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：叉指电极 压电薄膜 和声学 键合 微流控
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐铭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片 塑性形变 衬底 差分电容 弹性梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘松
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁场传感器 谐振结构 磁场测量 静电力 静电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐华英
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁场传感器 弹性梁 面积单位 谐振梁 谐振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MICRORNA 靶标 光学系统 信号增强 键合工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周宏
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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