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张威
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13
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供职机构:
北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
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合作作者
郝一龙
北京大学信息科学技术学院微米纳...
董汉鹏
北京大学
王阳元
北京大学微电子学研究院
刘勐
北京大学信息科学技术学院微米纳...
张大成
北京大学
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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董汉鹏
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电化学传感器 电极表面 氢气传感器 湖库 原电池
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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刘勐
供职机构:北京大学
研究主题:硅 压阻式 硅基 惯性力 惠斯登电桥
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万松
供职机构:北京大学
研究主题:硅基材料 电容式加速度计 MEMS传感器 MEMS FUZZY-PID控制
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刘欣
供职机构:中国人民解放军91550部队
研究主题:KOH 金属腐蚀 微机电系统 体硅工艺 湿法腐蚀
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李朝振
供职机构:北京理工大学
研究主题:静电 静电防护 桥丝式电雷管 桥丝 作动装置
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江少波
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 温度漂移 BCB 半导体晶片 旋涂
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隋鸿鹏
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 压阻传感器 传感器性能 加速度计 陶瓷封装
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张良
供职机构:北京理工大学
研究主题:静电 静电防护 桥丝式电雷管 甘草次酸 猛炸药
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