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向东
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合作作者
段广洪
清华大学深圳研究生院制造技术与...
牟鹏
清华大学深圳研究生院制造技术与...
刘学平
清华大学深圳研究生院制造技术与...
汪劲松
清华大学深圳研究生院
王汉
清华大学深圳研究生院
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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牟鹏
供职机构:清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题:喷嘴 元器件 显影液 废品回收 拆解
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刘学平
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:喷嘴 显影 流道 显影液 基台
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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王汉
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:喷嘴 显影液 显影 狭缝 集成电路芯片
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张根保
供职机构:重庆大学
研究主题:数控机床 可靠性 机床 数控机床可靠性 可靠性分析
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杨旺
供职机构:清华大学
研究主题:基台 精细化 温度场 保鲜 保鲜效果
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潘晓勇
供职机构:四川长虹电器股份有限公司
研究主题:冰箱 回收 平板电视 家电产品 拆解
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龙旦风
供职机构:清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题:元器件 拆解 废旧电路板 废品回收 废弃电路板
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夏焕雄
供职机构:清华大学
研究主题:基台 精细化 温度场 PECVD 功率
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