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潘国顺

作品数：168 被引量：273H指数：11
供职机构：清华大学更多>>
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合作作者

领域

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主题

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机构

  • 62个清华大学
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  • 2个后勤工程学院
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  • 2个北京矿业大学
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资助

  • 62个国家自然科学...
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传媒

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地区

  • 49个北京市
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  • 2个上海市
  • 2个重庆市
  • 1个江苏省
共 74 条 记 录，以下是 1-10
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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周艳
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
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路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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顾忠华
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴媛静
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭丹
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗桂海
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈高攀
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚桦
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗海梅
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光液 抛光 衬底材料 超光滑表面 氧化性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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