2024年12月25日
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明安杰
作品数:
60
被引量:54
H指数:5
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
机械工程
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
陈大鹏
江苏物联网研究发展中心
王玮冰
江苏物联网研究发展中心
毛海央
中国科学院微电子研究所
谭秋林
中国科学院微电子研究所
熊继军
中国科学院微电子研究所
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
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毛海央
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:热电堆 纳米 MEMS 红外光源 衬底
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熊继军
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
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谭秋林
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
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刘卫兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:红外光源 MEMS 图形化 金属电极 刻蚀
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所获资助
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梁静秋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:傅里叶变换光谱仪 成像光谱仪 阵列器件 电铸 光子晶体
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
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刘俊
供职机构:中北大学
研究主题:加速度计 色心 金刚石 微加速度计 传感器
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