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张冬青

作品数:15 被引量:35H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信医药卫生更多>>

领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

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11 条 记 录,以下是 1-10
施伟杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王帆
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马明英
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄建兵
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:相位延迟 损伤阈值 薄膜光学 光学薄膜 入射角
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建国
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 膜系 色散 超快激光 激光损伤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺洪波
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学薄膜 激光损伤阈值 镀膜 激光损伤 夹具
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范树海
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光损伤阈值 超声清洗 光学薄膜 基片 光程差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邵淑英
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:薄膜应力 残余应力 镀膜 沉积温度 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
齐红基
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:KDP 晶体 晶体生长 籽晶 氧化镓
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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