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张冬青
作品数:
15
被引量:35
H指数:4
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
施伟杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究...
王帆
中国科学院上海光学精密机械研究...
马明英
中国科学院上海光学精密机械研究...
齐红基
中国科学院上海光学精密机械研究...
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施伟杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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王帆
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
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马明英
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
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黄建兵
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:相位延迟 损伤阈值 薄膜光学 光学薄膜 入射角
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王建国
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 膜系 色散 超快激光 激光损伤
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贺洪波
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学薄膜 激光损伤阈值 镀膜 激光损伤 夹具
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范树海
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光损伤阈值 超声清洗 光学薄膜 基片 光程差
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邵淑英
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:薄膜应力 残余应力 镀膜 沉积温度 电子束蒸发
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齐红基
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:KDP 晶体 晶体生长 籽晶 氧化镓
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