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刘玄博
作品数:
8
被引量:15
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
周庆奎
中国电子科技集团公司第四十五研...
李霖
中国电子科技集团公司第四十五研...
葛劢冲
中国电子科技集团公司第四十五研...
孙广翔
中国电子科技集团公司第四十五研...
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周庆奎
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻机 找平 曝光机 分辨率 控制研究
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所获资助
研究领域
李霖
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:曝光机 找平 光刻机 分辨率 控制研究
发表作品
相关人物
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所获资助
研究领域
葛劢冲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:IC 光学光刻技术 光学光刻 集成电路 液晶显示器技术
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相关人物
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所获资助
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孙广翔
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:非接触式 切边 LED 半导体设备 蓝宝石衬底
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