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霍宗亮
作品数:
364
被引量:21
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
叶甜春
清华大学
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
王颀
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
张满红
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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王颀
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 闪存 译码 电路 纠错能力
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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张满红
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 俘获 浮栅 纳米晶 阻挡层
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刘璟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 俘获 电路 电子设备 浮栅
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李冬梅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
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李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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王琴
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 浮栅 纳米晶 俘获 硅衬底
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