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胡佳

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 2个电气工程
  • 1个医药卫生

主题

  • 5个等离子体
  • 5个离子刻蚀
  • 5个金属
  • 5个刻蚀
  • 5个刻蚀工艺
  • 5个刻蚀速率
  • 5个各向异性刻蚀
  • 5个干法刻蚀
  • 5个干法刻蚀工艺
  • 5个高密度等离子...
  • 4个自由基
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机构

  • 5个北京大学

资助

  • 1个国家重点基础...

传媒

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  • 1个微纳电子与智...
  • 1个中国微米纳米...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
张轶铭
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 传声器 衬底 钛 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李天宇
供职机构：北京大学
研究主题：衬片 PARYLENE 隔热性能 刻蚀 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈书慧
供职机构：北京大学
研究主题：高密度等离子体 干法刻蚀工艺 各向异性刻蚀 刻蚀速率 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李男男
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 衬片 PARYLENE 高密度等离子体 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗进
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 调度 成形电极 ICP 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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