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王跃林

作品数：719 被引量：794H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐德辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金仲和
供职机构：浙江大学
研究主题：卫星 谐振式光纤陀螺 微小卫星 微机械陀螺 种皮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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