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王旭迪
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:流导 漏率 标准漏孔 分子流 键合
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陈长琦
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:真空 磁控溅射 模糊控制 真空干燥 NBI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪力
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:高宽比 干法刻蚀 微结构 纳米压印 CHF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚达毛
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:偏滤器 遥操作 靶板 真空室 第一壁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡焕林
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:滑阀真空泵 真空泵 振动 涡旋真空泵 干式真空泵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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