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王艳
作品数:
3
被引量:11
H指数:2
供职机构:
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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一般工业技术
机械工程
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合作作者
陈长琦
合肥工业大学机械与汽车工程学院
王旭迪
合肥工业大学机械与汽车工程学院
汪力
合肥工业大学机械与汽车工程学院
姚达毛
中国科学院等离子体物理研究所
胡焕林
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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王旭迪
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:流导 漏率 标准漏孔 分子流 键合
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陈长琦
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:真空 磁控溅射 模糊控制 真空干燥 NBI
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汪力
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:高宽比 干法刻蚀 微结构 纳米压印 CHF
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姚达毛
供职机构:中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题:偏滤器 遥操作 靶板 真空室 第一壁
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胡焕林
供职机构:合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题:滑阀真空泵 真空泵 振动 涡旋真空泵 干式真空泵
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