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杨恒

作品数：146 被引量：136H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴燕红
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
豆传国
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：应力传感器 硅 多晶硅 互连 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴紫阳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光刻胶 悬架 光刻 胶膜 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：纳米 MOS电容 空间电荷区 电极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空间电荷区 电极 纳米 衬底 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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