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张博军
作品数:
28
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H指数:3
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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合作作者
赵湛
中国科学院电子学研究所
方震
中国科学院研究生院
武宇
中国科学院电子学研究所
王奇
中国科学院研究生院
曾欢欢
中国科学院研究生院
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赵湛
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:MEMS MEMS技术 无线传感器网络 传感器 风速风向传感器
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方震
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:MEMS 无线传感器网络 传感器 血压 健康监护
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王奇
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:MEMS 氮化硅 压力传感器 反应离子刻蚀 聚酰亚胺
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武宇
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:MEMS 集成传感器 聚酰亚胺 传感器芯片 气压
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曾欢欢
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:MEMS 氮化硅 聚酰亚胺 集成传感器 反应离子刻蚀
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供职机构:中国科学院电子学研究所
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供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:线性阵列电极 线阵 电泳芯片 微全分析系统 生物芯片
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秦宁
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:微针 MEMS 电磁驱动 SU-8胶 硅
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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王溢仲
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:微型化 阵列电极 MEMS 芯片系统 CC1000
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