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周旗钢
作品数:
75
被引量:162
H指数:9
供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家科技重大专项
国家高技术研究发展计划
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一般工业技术
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合作作者
王敬
清华大学信息科学技术学院微电子...
屠海令
有色金属研究总院
常青
北京有色金属研究总院
库黎明
北京有色金属研究总院
肖清华
北京有色金属研究总院
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王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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屠海令
供职机构:国家工程研究中心
研究主题:硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
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库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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肖清华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
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冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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朱悟新
供职机构:有色金属研究总院
研究主题:硅 光谱研究 原位 红外吸收 硅片
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所获资助
研究领域
戴小林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
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所获资助
研究领域
张椿
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅 硅片键合 IC 硅单晶
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