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马玉涛
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北京大学
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合作作者
刘理天
北京大学
李志坚
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李志坚
供职机构:北京大学
研究主题:MOS结构 处理回收 不同温度 MOS器件 MOSFET器件
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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