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蔡婷

作品数：7 被引量：20H指数：4
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
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领域

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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹阳
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械平坦化 碟形 铜布线 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海龙
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP HCL 钽 盐酸胍 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马锁辉
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP TSV 阻挡层 化学机械平坦化 多胺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何彦刚
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹哲
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：PH值 碱性抛光液 稳定性 螯合剂 速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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