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曾爱军

作品数：228 被引量：255H指数：11
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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共 95 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱玲琳
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁乔
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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