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韩星
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北京理工大学
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机械工程
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合作作者
李艳秋
北京理工大学
黄一帆
北京理工大学
刘丽辉
北京理工大学
马斌
北京理工大学
李林
北京理工大学
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马斌
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻物镜 投影光刻物镜 数值孔径 成像质量 高分辨率
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刘丽辉
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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常军
供职机构:北京理工大学
研究主题:大视场 成像 光学系统 小凹 反射镜
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黄一帆
供职机构:北京理工大学光电学院
研究主题:光学设计 光刻物镜 高分辨率 投影光刻物镜 太阳
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李林
供职机构:北京理工大学光电学院
研究主题:光学设计 光学系统 极紫外 太阳 成像光谱仪
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