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陈梦真
作品数:
19
被引量:26
H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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电子电信
理学
机械工程
水利工程
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合作作者
叶甜春
中国科学院微电子研究所
孙宝银
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
赵玲莉
中国科学院微电子研究所
朱樟震
中国科学院高能物理研究所
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孙宝银
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 LPCVD X射线光刻 氮化硅 可见光发射
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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赵玲莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LPCVD X射线光刻 氮化硅 氮化硅薄膜 可见光发射
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韩阶平
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 光敏聚酰亚胺 集成电路 聚酰亚胺 磁路结构
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朱樟震
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:X射线光刻 光刻胶 光刻 X射线掩模 X射线
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李秀琼
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 半导体 集成电路 辉光放电 电子束
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韩一琴
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:多晶硅薄膜 微晶硅薄膜 热丝 热丝化学气相沉积 LPCVD
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刘辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子机械系统 HEMT 开关功率放大器 芯片 氮化硅薄膜
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石万全
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:硅 离子注入 氮化硅 LPCVD 氮化硅薄膜
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