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柳俊文
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东南大学
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合作作者
黄庆安
东南大学
尚金堂
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唐洁影
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徐超
东南大学
张迪
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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尚金堂
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陈波寅
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徐超
供职机构:东南大学
研究主题:硅圆片 圆片 圆片级 阳极键合 微槽
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张迪
供职机构:东南大学
研究主题:硅圆片 圆片 圆片级 阳极键合 复合电源
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