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张兴华
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
蔡建
中国科学院微电子研究所
贾少霞
中国科学院微电子研究所
杨景华
中国科学院微电子研究所
朱阳军
中国科学院微电子研究所
卢烁今
中国科学院微电子研究所
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蔡建
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:激光 脉冲激光烧蚀 微推进 推进器 垂直剖面
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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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贾少霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
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朱阳军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:IGBT IGBT器件 集电极 绝缘栅双极晶体管 导电类型
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卢烁今
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:绝缘栅双极晶体管 IGBT器件 闩锁 漂移 导电类型
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韩郑生
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
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