2025年1月16日
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额日特
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
天津理工大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
张涛峰
天津理工大学
张楷亮
天津理工大学
王芳
天津理工大学
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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张涛峰
供职机构:天津理工大学
研究主题:抛光液 抛光速率 集成电路工艺 化学机械平坦化 金刚石薄膜
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王芳
供职机构:天津大学
研究主题:存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
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