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李艳辉
作品数:
7
被引量:5
H指数:2
供职机构:
东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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发文基金:
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
电子电信
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李伟华
东南大学电子科学与工程学院微电...
周再发
东南大学电子科学与工程学院微电...
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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供职机构
所获资助
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周再发
供职机构:东南大学
研究主题:残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
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