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李海亮

作品数：83 被引量：52H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李冬梅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冠亚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘子维
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衍射光栅 谐波污染 光栅结构 透光 单级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴坚
供职机构：北京工业大学
研究主题：生物芯片 流控 分析化学 微通道 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜宇禅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：表面等离子体共振 传感器结构 传感器 衬底 半导体工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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