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吴文刚

作品数：116 被引量：54H指数：3
供职机构：北京大学更多>>
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郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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陈庆华
供职机构：北京大学
研究主题：微光 玻璃衬底 光反射 MEMS 悬臂梁
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王金延
供职机构：北京大学
研究主题：氮化镓 探测器 刻蚀 湿法刻蚀 开启电压
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王茂俊
供职机构：北京大学
研究主题：氮化镓 绝缘栅 二维电子气 刻蚀 槽栅
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闫桂珍
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛海央
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：热电堆 纳米 MEMS 红外光源 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜博超
供职机构：北京大学
研究主题：悬臂梁 单片集成 自适应性 电极 振动环境
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朱佳
供职机构：北京大学
研究主题：表面等离激元 纳米加工技术 衬底 超材料 表面等离子体
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