2025年2月13日
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何燕
作品数:
1
被引量:19
H指数:1
供职机构:
上海师范大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
聂宏飞
华中科技大学
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聂宏飞
供职机构:华中科技大学
研究主题:温度控制 光刻机 投影物镜 集成电路芯片 芯片键合
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