您的位置： 专家智库 > >

陈波

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 2个建筑科学
  • 1个机械工程

主题

  • 4个抛光
  • 4个平坦化
  • 4个化学机械抛光
  • 4个化学机械平坦...
  • 4个机械抛光
  • 3个抛光垫
  • 3个装载
  • 3个温度
  • 3个温度控制
  • 2个氮化镓
  • 2个修整
  • 2个优化设计
  • 2个有限元
  • 2个有限元分析
  • 2个有限元模型
  • 2个数据处理
  • 2个抛光机
  • 2个气动
  • 2个气动控制
  • 2个气动控制系统

机构

  • 4个中国电子科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个中华人民共和...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 4个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个北京市教育委...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 4个电子工业专用...
  • 2个半导体技术
  • 1个机械工程学报
  • 1个微细加工技术
  • 1个集成电路应用
  • 1个微纳电子技术
共 4 条 记 录，以下是 1-4
徐存良
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 CMP设备 RCA 湿法清洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高文泉
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP CMP设备 化学机械抛光 夹持 温度控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳滨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈威
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 300MM硅片 有限元模型 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0