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费玖海

作品数：8 被引量：18H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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合作作者

领域

  • 16个电子电信
  • 6个自动化与计算...
  • 3个机械工程
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术
  • 1个理学

主题

  • 9个抛光
  • 8个半导体
  • 7个化学机械抛光
  • 7个机械抛光
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  • 6个仿真
  • 6个CMP工艺
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  • 4个电路
  • 4个芯片
  • 3个低温共烧陶瓷
  • 3个兆声清洗

机构

  • 16个中国电子科技...
  • 1个北京邮电大学
  • 1个中华人民共和...

资助

  • 4个国家高技术研...

传媒

  • 16个电子工业专用...
  • 1个电子工艺技术
  • 1个集成电路应用
  • 1个计算机测量与...
共 16 条 记 录，以下是 1-10
刘涛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨师
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 集成电路 SEMI 半导体制造设备 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高慧莹
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石 衬底材料 LED 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙振杰
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 泵头 蠕动泵 CMP 温度控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒲继祖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：瓷片 LTCC 线性电机 丝网印刷 低温共烧陶瓷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨元元
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 氮化镓 半导体材料 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕磊
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 传输系统 飞针测试 硅片 机械手设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建亮
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：瓷片 LTCC 硅电池 线性电机 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史霄
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP CMP技术 氮化镓 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗杨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP工艺 PG 蓝宝石 抛光机 晶圆测试
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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