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毛海央
作品数:
116
被引量:94
H指数:6
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
霍英东基金
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合作作者
熊继军
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
江苏物联网研究发展中心
张文栋
中北大学电子与计算机科学技术学...
谭秋林
中国科学院微电子研究所
明安杰
中国科学院微电子研究所
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熊继军
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
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明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
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谭秋林
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
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薛晨阳
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 电极 水听器 心音
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
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刘俊
供职机构:中北大学
研究主题:加速度计 色心 金刚石 微加速度计 传感器
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
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