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毛海央

作品数:116 被引量:94H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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领域

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机构

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资助

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  • 11个物理学报

地区

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  • 4个辽宁省
  • 2个陕西省
65 条 记 录,以下是 1-10
熊继军
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭秋林
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
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薛晨阳
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 电极 水听器 心音
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊
供职机构:中北大学
研究主题:加速度计 色心 金刚石 微加速度计 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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