2024年12月25日
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张加勇
作品数:
38
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
杨富华
中国科学院半导体研究所
王晓东
中国科学院半导体研究所
马慧莉
中国科学院半导体研究所
程凯芳
中国科学院半导体研究所
季安
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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马慧莉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 淀积 纳米尺寸 抛光表面
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程凯芳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 纳米尺寸 相变材料 淀积 抛光表面
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季安
供职机构:中国科学院半导体研究所
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付英春
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
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田晓丽
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米尺寸 相变存储器 淀积 电子束曝光 硅衬底
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白云霞
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀 自对准 电子束曝光 可调谐光滤波器 移植性
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梁秀琴
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀 自对准 电子束曝光 光刻胶 SIO
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徐晓娜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:存储器 充电状态 二维电子气 抗蚀剂 动态随机存储器
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