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宋玲
作品数:
3
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
廖炼斌
中国电子科技集团公司第四十八研...
张勇
中国电子科技集团公司第四十八研...
罗卫国
中国电子科技集团公司第四十八研...
李学文
中国电子科技集团公司第四十八研...
杨基南
中国电子科技集团公司第四十八研...
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温度控制
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中国电子科技...
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中国电子科技...
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国家电子信息...
传媒
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电子工业专用...
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微细加工技术
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新材料产业
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北京市
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廖炼斌
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:温度控制 串级控制 LPCVD LP CVD设备
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所获资助
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李学文
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:MOCVD设备 MOCVD 以太网 GAN生长 GAN
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陈必雄
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:PECVD 管式 多晶硅 太阳能电池 生产型
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刘亚红
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:MOCVD设备 MOCVD GAN生长 GAN 自动控制系统
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杨基南
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:U MOCVD设备 等离子体 气相淀积 太阳能电池产业
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杨彬
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:氧化炉 PECVD 管式 化学气相淀积 扩散炉
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供职机构
所获资助
研究领域
罗卫国
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:串级控制 LPCVD LP CVD设备 控制系统
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
刘恺
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:PECVD 管式 多晶硅 太阳能电池 生产型
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张勇
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:串级控制 LPCVD LP CVD设备 控制系统
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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