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王文辉
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浙江大学
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
唐衍哲
浙江大学信息与电子工程学系
杨艺榕
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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唐衍哲
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:各向异性腐蚀 波导 波导器件 弯曲波导 阵列波导光栅
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杨艺榕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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解健芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
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杨建义
供职机构:浙江大学
研究主题:波导 集成光学 光开关 多模干涉 玻璃基
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王东平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:保护方法 牺牲层 深反应离子刻蚀 传感器 MEMS传感器
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研究领域
王东平
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:保护方法 反应离子刻蚀 深反应离子刻蚀 成品率 叉指电极
发表作品
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胡上序
供职机构:浙江大学化学工程与生物工程学系
研究主题:神经网络 仿真 管理信息系统 粒子群 遗传算法
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