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曹振亚
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8
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘训春
中国科学院微电子研究所
王润梅
中国科学院微电子研究所
钱鹤
中国科学院微电子研究所
叶甜春
中国科学院微电子研究所
吴德馨
中国科学院微电子研究所
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刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
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王润梅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:异质结双极晶体管 GAAS 自对准 INGAP/GAAS_HBT ICP
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钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
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吴德馨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ALGAN/GAN HEMT INGAP/GAAS_HBT 欧姆接触 HBT
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欧文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:悬臂梁 刻蚀 衬底 红外吸收 硅
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徐维江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:镀银 电容 匹配性 匹配器 等离子刻蚀
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陈梦真
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 光刻 掩模 光刻胶 集成电路
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牛立华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ICP AWG 感应耦合等离子体刻蚀 刻蚀技术 阵列波导光栅
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魏珂
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 势垒层 欧姆接触 ALGAN/GAN
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