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方辉
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供职机构:
厦门大学物理与机电工程学院
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国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
李文杰
厦门大学物理与机电工程学院
罗仲梓
厦门大学
谷丹丹
厦门大学
陈松岩
厦门大学物理与机电工程学院物理...
何熙
厦门大学物理与机电工程学院物理...
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罗仲梓
供职机构:厦门大学
研究主题:射频MEMS开关 PECVD 键合 芯片 微通道
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何熙
供职机构:天津大学材料科学与工程学院
研究主题:SIO2 SIO PECVD 红外探测器 结构优化
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供职机构
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谷丹丹
供职机构:厦门大学
研究主题:微机电系统 压力传感器 液相 分离式 硅基
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相关人物
供职机构
所获资助
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李文杰
供职机构:厦门大学
研究主题:氧化铟锡薄膜 电阻温度系数 表面附着力 氧化铟锡 CDH1
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈松岩
供职机构:厦门大学
研究主题:锗 键合 键合界面 硅基 INP
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供职机构
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