2024年12月26日
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周葆青
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1
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供职机构:
同济大学环境科学与工程学院
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相关领域:
轻工技术与工程
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厉晓华
中芯国际集成电路制造有限公司
李正华
中芯国际集成电路制造有限公司
顾颖颖
上海理工大学
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厉晓华
供职机构:中芯国际集成电路制造有限公司
研究主题:超纯水 集成电路制造 化学机械抛光 节水技术 超纯水系统
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李正华
供职机构:中芯国际集成电路制造有限公司
研究主题:除氟 半导体厂 回收 水回收 树脂
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顾颖颖
供职机构:上海理工大学
研究主题:分子氧 溴 苯酚 催化合成 羟基化
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