2024年12月25日
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吴亚明
作品数:
163
被引量:194
H指数:7
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
机械工程
电气工程
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合作作者
李四华
中科院研究生院北京10003
徐静
中科院上海微系统与信息技术研究...
刘玉菲
中科院上海微系统与信息技术研究...
王跃林
浙江大学信息与电子工程学系
钟少龙
中国科学院研究生院
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
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刘玉菲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
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研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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研究领域
钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
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赵本刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 高灵敏度 光电隔离 温度补偿
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杨建义
供职机构:浙江大学
研究主题:波导 集成光学 光开关 多模干涉 玻璃基
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屈红昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光开关 光交换 N 集成光学 光纤光栅
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高翔
供职机构:浙江大学
研究主题:烟气 催化剂 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
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李绍良
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缓冲气体 阳极键合 原子钟 MEMS技术 光学窗口
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