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史辉
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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合作作者
唐孝明
中国工程物理研究院电子工程研究...
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唐孝明
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械电子系统 体声波滤波器 带通滤波器 薄膜体声波谐振器 微加工
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