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虞益挺

作品数：99 被引量：172H指数：8
供职机构：西北工业大学更多>>
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苑伟政
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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乔大勇
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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李晓莹
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁庆
供职机构：西北工业大学
研究主题：牺牲层 微机电系统 残余应力 刻蚀速率 自激
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
燕斌
供职机构：西北工业大学
研究主题：扫描镜 刻蚀 微机电系统 锚点 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李浩勇
供职机构：西北工业大学
研究主题：滤波器 微加工技术 微机械 超声传感器 局部放电
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孙瑞康
供职机构：西北工业大学
研究主题：SOI晶圆 微细加工 微机械 微机电系统 衍射特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱全发
供职机构：西北工业大学
研究主题：滤波器 微加工技术 微机械 可调谐 镜面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李太平
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 衍射特性 掩膜版 SOI晶圆 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马志波
供职机构：西北工业大学
研究主题：光纤F-P腔 高深宽比 微机电系统 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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