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焦斌斌

作品数：169 被引量：72H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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领域

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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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孔延梅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 散热结构 散热 傅里叶变换光谱仪 键合
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刘瑞文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 非制冷红外成像 平面阵列 红外成像 散热
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶雨欣
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 散热 散热技术 工质 微电子封装技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尚海平
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：压力传感器 衬底 压阻 非制冷红外成像 平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张青川
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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