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沈三民
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供职机构:
北京大学
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合作作者
郝一龙
北京大学
张文栋
北京大学
董海峰
北京大学
贾玉斌
北京大学
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
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董海峰
供职机构:北京大学
研究主题:玻璃衬底 阳极键合 电极 加速度计 微机电系统
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贾玉斌
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:加速度计 电极 MEMS 光开关 谐振
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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