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戚晖
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中国科学院
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自动化与计算机技术
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合作作者
耿达
中国科学院
冯彬
中国科学院
周景玉
中国科学院
张雪
中国科学院
佟辉
中国科学院
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冯彬
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射 溅射 离子枪
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耿达
供职机构:中国科学院心理研究所
研究主题:控制程序 工控机 控制系统 磁控溅射 工业控制计算机
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周景玉
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 镀膜设备 法兰 基片
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佟辉
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 磁控 法兰 籽晶 磁控溅射
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张雪
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 镀膜设备 法兰 皮秒激光器
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刘丽华
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射靶 磁控溅射 法兰
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郭东民
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 磁控 籽晶 卷烟 法兰
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阎佐健
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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潘福全
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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曾志群
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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