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徐德辉

作品数：98 被引量：23H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马颖蕾
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴国强
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 感应电动势 干法刻蚀 温度影响
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘松
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁场传感器 谐振结构 磁场测量 静电力 静电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚邵康
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片 塑性形变 透镜 键合 制作方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐铭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片 塑性形变 衬底 差分电容 弹性梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘米丰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：非晶硅 硅圆片 溅射 单晶硅 金膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯端
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：叉指电极 压电薄膜 和声学 键合 微流控
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙晓
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：干法腐蚀 微加热器 热电堆 气体压强 真空计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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