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侯智昊
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10
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南京电子器件研究所
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合作作者
刘泽文
清华大学信息科学技术学院微电子...
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
胡光伟
清华大学信息科学技术学院微电子...
朱健
微波毫米波单片集成电路和模块重...
郁元卫
微波毫米波单片集成电路和模块重...
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刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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胡光伟
供职机构:清华大学
研究主题:接触式开关 RF_MEMS开关 MEMS开关 机械可靠性 淀积
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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郁元卫
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:毫米波 MEMS MEMS开关 RF_MEMS开关 MEMS移相器
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朱锋
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:毫米波 MEMS 高通滤波器 小型化 RF_MEMS开关
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杜国平
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:开关 硅膜 硅 RF_MEMS开关 可靠性
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张忠惠
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:MEMS开关 氮氧化硅 PECVD 接触式开关 低应力
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